多晶硅还原炉_多晶硅还原炉撬块
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多晶硅还原炉有什么危险吗
危险1:氢气可能泄露,引起爆炸;
危险1:夹套或冷却水供应不上烧坏炉子;
危险3:电极和视镜是整个还原炉最脆弱的地方,一定要保证冷却水;
危险4:在停炉时要做好降温和置换工作,尤其是对视镜等做检修时要确保里面的氢气置换完全,不然易发生事故,有过先例的!
总之,按照操作规程来,小心驶得万年船。
多晶硅还原炉中的高温击穿是怎么回事啊?
高温击穿是还原炉中硅芯启动的一种方式,硅芯是半导体,通过加热改变半导体的电阻率,使其成为导体。
还原炉中硅芯启动的另一种方式是高压击穿,是通过电压改变半导体的电阻率,使其成为导体
多晶硅还原炉的参数
还原炉里面是用纯的氢气以及三氯氢硅,在1100°条件左右进行反应,生成的硅沉积在硅棒表面,慢慢的生长,一般都要72小时以上时间不间断的供料供电。炉壁式夹层,用循环水进行冷却。
多晶硅氢化炉与多晶硅还原炉是一样的炉子吗?用的热场材料分别是什么材质的?
肯定是不一样的啊。不过炉子的外形结构是一样的,不过作用和具体构造肯定是不一样的。
还原炉,就是将硅芯至于石墨夹头中,而石墨夹头放在银电极上,通过高压击穿硅芯,使三氯氢硅被氢气还原出来的硅在硅芯上面均匀的生长。
而氢化炉则是通过炭炭加热体加热使四氯化硅被氢气还原为三氯氢硅。
大体答案是这样的
多晶硅还原出装怎么样
能够降低能耗,提高单炉产量和质量。
还原炉没置换干净,有少量的三氯氢硅炉内的刺激性气味一般为残留的氯硅烷以及分解出来的盐酸,对呼吸道黏膜有刺激性作用,但是对身体无害,只要不大量吸入,不会对身体造成危害。
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